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减铜微蚀液
一. 产品特点
硫酸双氧水体系
可提供工作液模式，无需客户配制
蚀铜速率大于4um/min
溶铜量高，可达50g/L
水平和垂直线均适用
操作范围宽，流程控制易
废水处理简单
减铜均匀性高可小于1um(与设备有较大关系)
对氯离子有一定的容忍度
二. 工艺参数
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流程 |
物料名称 |
浓度 |
温度 (o C) |
|
减铜 |
50%H2SO4 |
70-150ml/L |
30-40 |
|
50%H2O2 |
80-100ml/L |
||
|
酸洗 |
50%H2SO4
|
60-80ml/L |
R.T |
三. 氯离子对微蚀量的影响趋势
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氯离子浓度 |
0ppm |
1ppm |
2ppm |
3ppm |
5ppm |
7ppm |
10ppm |
|
微蚀速率um/min |
4.27 |
3.96 |
3.73 |
3.65 |
3.33 |
3.10 |
2.82 |
|
下降幅度 |
/ |
7.3% |
12.6% |
14.6% |
21.9% |
27.5% |
33.9% |
注：以上数据为实验室测试数据
