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酸性蚀刻液
酸性蚀刻液的种类
目前市面上常见的酸性蚀刻液主要有二种:
也称之为酸性氯化铜蚀刻液
H2O2/HCl类型
NaClO3/HCl类型-----PC2008
氯酸钠型蚀刻液的优点(与H2O2型对比)
药水更稳定,不易分解,蚀刻速率更均衡
对干膜/油墨的攻击更弱,溶出物更少
影响蚀刻的因素
影响因素 |
变化方向 |
蚀刻速率变化 |
侧蚀变化 |
蚀刻因子变化 |
Cu2+ |
↑ |
↑ |
↓ |
↑ |
Cl- |
↑ |
↑ |
↑ |
↓ |
ORP |
↑ |
↑ |
↓ |
↑ |
Temp. |
↑ |
↑ |
↑ |
↓ |
Press |
↑ |
↑ |
↓ |
↑ |
注意:以上规律仅限指在常用参数内的变化规律
比如说Cu2+提高是对减少侧蚀有利,但是也会影响溶液的比重、表面张力等,
过度追求提高其浓度也会带来负影响,需要结合生产板的线宽线距铜厚做综合考量